臭氧是气体的混合物，其浓度通常以质量比和体积比表示。质量比是指单位体积混合气体中所含臭氧的数量，通常以毫克/升或克/立方米表示。体积比是指单位体积臭氧的体积含量或百分比，表示为2%、5%、12%等。在卫生工业中常用的ppm表示臭氧浓度，即臭氧占每立方臭氧混合物体积的1/1000000。
在相同的工作条件下，臭氧输出浓度越高，质量就越高。影响臭氧浓度的主要因素为1。臭氧发生器的结构和加工精度；冷却方式和条件；驱动电压和驱动频率；4，介质材料；5。原气的含氧量、净化和干燥。臭氧产生是指臭氧发生器单位时间内的臭氧产量、臭氧浓度值和进入臭氧发生器的气体总量。
